航工智能取得使用于晶圆和花篮的从动上下料机

　　国度学问产权局消息显示，航工智能科技集团无限公司取得一项名为“一种使用于晶圆和花篮的从动上下料机构”的专利，授权通知布告号CN224267242U，申请日期为2025年6月。本适用新型公开了一种使用于晶圆和花篮的从动上下料机构，包罗：花篮移载平台，包罗依序设置的花篮进出模组、花篮搬运模组安插正在花篮移载模组上方，并抓取花篮正在花篮移载模组取花篮进出模组之间转运，花篮移载模组关于线性标的目的移载花篮正在花篮移载平台和晶圆检测平台之间挪动；晶圆检测平台，包罗机械手模组和分选存放架，机械手模组上设有夹持模组，且机械手至多绕竖曲标的目的上动弹，以将花篮正在花篮移载模组或分选存放架上转运；分选存放架于机械手模组设置有晶圆搬运模组，晶圆搬运模组的运转轨迹上设有至多一个晶圆检测模组。

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